Fabricación de máscaras mediante tecnología láser Capacidades tecnológicas y Campos de Aplicación.

Presentación del tema: "Fabricación de máscaras mediante tecnología láser Capacidades tecnológicas y Campos de Aplicación."— Transcripción de la presentación:

1 Fabricación de máscaras mediante tecnología láser Capacidades tecnológicas y Campos de Aplicación

2 Fabricación de máscaras mediante tecnología laser 2 Tecnología de grabación láser

3 Fabricación de máscaras mediante tecnología laser 3 Grabadores láser: Generación del Master Grabador láser versátil (UCM)  Dimensión crítica 0.5 m  Tamaño de grabación: 300×200 mm  Precisión absoluta: 1 m Grabador láser para grandes longitudes (FAGOR)  Dimensión crítica 1 m  Tamaño de grabación: 60×3200 mm  Precisión absoluta: 0.5 m por metro

4 Fabricación de máscaras mediante tecnología laser 4 Limpieza Vidrio Secado ResinadoSecado Ataque químico Insolación Revelado PVD Vidrio Cromado Agua destilada Jabones Aclarados Ultrasonidos Infrarrojos Horno Vidrio Cromado Resinado Horno Master Lámpara UV Inmersión en revelador Ducha agua destilada Aclarados Secado: Horno Grabador Láser Inmersión en resina Inmersión en ácido Aclarado Máscara Vidrio Cromado Resinado selectivamente Control de espesor de capa (microscopio confocal) Autocontrol de viscosidad de resina Control de calidad mediante microscopio confocal Control de calidad mediante microscopio confocal y AFM Deposición de Cromo Salas limpias clase 100 y 1000

5 Fabricación de máscaras mediante tecnología laser 5 Producto Final CromoVidrio 120 µm 1 mm Spot: 0.5 - 5 µm Raster Scan

6 Fabricación de máscaras mediante tecnología laser 6 Campos de Aplicación Máscaras Fotolitográficas –Microelectrónica –MEMs –Microfluídica –Microarrays de ADN Implantación iónica

7 Fabricación de máscaras mediante tecnología laser 7 Campos de Aplicación Retículas Tarjetas de Calibración Óptica Difractiva

8 Fabricación de máscaras mediante tecnología laser 8 Aplicación en metrología óptica Codificadores ópticos (FAGOR Automation) empleados en máquina herramienta