UNIVERSIDAD NACIONAL DE COLOMBIA MARYENI ENRIQUEZ OCTUBRE DE 2010 G10NL07Maryeny

Etapas: Ionización atómica, por remoción del electrón central Emisión de electrones (Proceso Auger) Análisis de los electrones Auger emitidos ( detección de partículas cargadas con alta sensibilidad)

Se crea un hueco central al exponer la muestra al haz de e - de alta energía, desde 2 a 10 keV. Estos tienen la energía suficiente para ionizar todos los niveles de los elementos mas livianos y los niveles centrales superiores de los elementos mas pesados.

El átomo ionizado permanece en un estado excitado y rápidamente se relaja volviendo a un estado de menor energía por fluorescencia de rayos X. Al considerar la emisión auger, un electrón cae al hueco central inicial y la energía liberada es transferida a otro electrón; parte de esta energía es requerida para superar la energía del enlace del segundo electrón y parte de esta es retenida por el electrón auger emitida como energía cinética. Al final se tiene un átomo doblemente ionizado.

Se caracteriza principalmente por: Localización del hueco inicial Localización de los dos huecos finales. La existencia de distintos estados electrónicos del átomo doblemente ionizado puede dar una estructura fina en los espectros de alta resolución. Para un determinado elemento hay varias transiciones auger, algunas pueden ser débiles y otras fuertes.

Se basa en la medición de las energías de los electrones emitidos. Cada elemento da un espectro característico a diferentes energías que provienen de electrones secundarios generados por muchos procesos de dispersión inelástica.

La electroscopia de electrón auger es una técnica sensible a la superficie, usada para el análisis elemental, la alta sensibilidad se da en general para todos los elementos, excepto para hidrogeno y helio. El análisis cuantitativo de la composición de regiones de la superficie se hace mediante una comparación con muestras estándar de composiciones conocidas.

Para tener información sobre la composición a baja profundidad de la superficie se utiliza un flujo de electrones de baja energía que remueven gradualmente material de la región analizada, monitoreando los espectros auger. Este ataque superficial puede estar acompañado de iones produciendo desprendimiento de los átomos de la superficie. Cuando el haz de iones desprende material lejos de la superficie, las señales auger correspondientes a los elementos presentes en esta capa aumenta y luego disminuye.